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第3679章 赵长安为什么选择5500（第1页）

赵长安点点头，twINScAN At:750t使用的是波长为248nm的KrF光源（氟化氪激光）系统，支持最小工艺制程130nm生产，优势就是twINScAN系统的双晶圆平台，工作效率大幅度提升。

pAS5500目前使用的有i-line光源（高压汞灯）365nm，最小工艺制程800-250nm，248nm的KrF激光光源，最小工艺制程到180-130nm。

两者之间的区别就是twINScAN At:750t的工作效率更高，不过价格更贵，整机架构更加的精密复杂，零件更多。

可以想见的是，下一步ASmL肯定是要把twINScAN At向上和向下带入365纳米i-line光源，193nmArF（氟化氩）光源领域，形成一个系统性的光源跨度，满足用户不同的芯片制程需求。

不过既然pAS5500既然已经有了足够的光源跨度和诸多型号，而且有了十年不断的技术完善和稳定性的证明，就算单机效率低一点赵长安也能忍受。

单机效率低多买几台就行了，而且真要是订单够多，可以让工人三班倒，人有多大胆地有多大产办法总比困难多。

看看萧扬明说的5500今年没货，750的订单却只是排到今年五月，赵长安就知道这些资本家们哪一个都是贼精明，毕竟相比已花更多的钱购买昂贵的机器，不如花小钱给工人开工资划算。

而实际上在赵长安的前一世，ASmL凭借着5500从一个濒临破产倒闭的企业，一直干到行业第二，直到06年全球首台浸没式光刻机twINScAN xt:1700i，193nm光刻机，最小工艺制程到45nm，上市量产，才逐步停产利润太低的pAS5500系列，而5500经过了十六七年的不断的研发迭代，已经有了十几个型号。

ASmL的twINScAN At系统双晶圆平台，在目前的制程工艺里面，并没有足够的性价比优势，因为现在即使ASmL收购了SGV，然而依然有着Nikon和canon这两家强大的步进式光刻机企业，可以提供同类的产品。

无论是G-line436nm光源，还是I-line，KrF，这三家企业对市场份额的争夺一直都比较激烈。

况且在G-line，I-line领域，除了这三家企业，hitachi（日立），Abm，NuFlare technology（东芝下属企业纽富来），tEL（东京电子），Sharp，——也都有着成熟的步进式光刻机售卖。

这里面Abm成立于1986年，总部位于美国硅谷San Jose，一纳米江城研究院去年年初购买的一台G-line光源步进式光刻机，就是从Abm购买，目前产品涵盖了G-line，I-line光源波段，最小工艺制程220nm。

Abm最大的客户是NASA（m国航空航天局）和英特尔，因为价格相对便宜，在加上本土运输相对便捷，北美一半左右的高校和研究机构在G-line，I-line光源波段，购买的都是Abm的光刻机，在北美排名第二，排在SVG后边。

只不过Abm明确无意于更窄光源的光刻机的研发制造，本身即使在未来几十年，220nm以上制程的光刻机的需求量将会保持着很大的需求量，对于Abm来说一招鲜吃遍天。

就像SVG投资大量资金搞157nm工艺研发，结果搞的利润低薄，被ASmL摘了桃子。